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让中国靶材打进国际市场

——访常州苏晶电子材料有限公司总裁范嘉苏博士


     记者来到常州高新区三晶科技园一间偌大的车间内,一辆大型吊车调运拼接着设备,8个工人正在紧张地安装。一位头发花白、颇具学者风范的男子站在一旁,指导众人工作。这位年近花甲的白发男子就是记者所采访的主人公——常州苏晶电子材料有限公司总裁范嘉苏博士。

     范博士指着身边那台大型设备说:“这台4.5米的钎焊炉是国内最大的,用来焊接我的靶材产品。”何为“靶材”呢?简单地说,靶材就是目标材料,将离子加速后撞击到各种不同材质的靶材上,撞击中把靶材的原子打出表面,并沉淀在基板上,形成不同材质的薄膜。比较常见的有钼靶材、钨靶材、ITO靶材(某种陶瓷靶材)等10余种靶材,主要应用于半导体、平面显示器、太阳能薄膜的制造中。在半导体集成电路制造中,运用十几种不同的靶材和光刻、腐蚀、封装等工艺,做成集成电路。而平面显示器面板的制造也类似集成电路,用数种靶材完成导电玻璃的制造。在薄膜太阳能面板制造中,配合上述工艺,用数种靶材完成薄膜能量转换面板(电池)的制造。

     中国上世纪90年代就有人生产靶材,但到目前为止,世界上较大的靶材消费厂家,都不用“中国制造”,原因就是质量不稳定。如何才能做出高质量、高稳定性的靶材呢?范嘉苏笑道,这正是生产制造靶材最难的一关。1990年获得美国俄亥俄州立大学博士学位的范嘉苏,在美国TOSOH SMD公司工作了18年,担任从研发、原材料、生产、质量、销售及管理的中层领导,了解靶材行业的完整产业链。他知道在每个流程上应该怎么生产、怎么控制。

     由于一块靶材的原子要被沉淀到数百块甚至上千块基板上,一旦一块靶材有差池,数百上千种基板的质量将不可靠。因此,客户对靶材质量稳定性要求极高。于是,高质量、高稳定的靶材必须满足“三个均匀一致”的要求:即无论靶材多大,其面积上各处组织和织构要均匀一致;无论靶材多厚,其厚度上各处组织和织构要均匀一致;无论做多少块靶材,每块靶都要在组织和织构上均匀一致。只有生产商将靶材生产不合格率控制在千分之一以内,才能被客户认可。要做到这些就必须使生产的每个步骤都在极其严格的质量监督控制之下,每一个环节都不能有改变,除研发以外,生产上不需要发挥任何的“主观能动性”。范嘉苏将花费近千万购置的电子显微镜、辉光放电质谱仪等设备正是用来进行生产检验的,而以往这些设备都是用在科研院所进行研究之用。

今年66岁的范嘉苏感慨道:“在美国我有退休金,子女生活也不错,我并没有经济方面的压力,但手里有国内没有的“真东西”,总想把这些东西带回自己的国家。”

     素有世界平面显示器生产基地之称的宝岛台湾,拥有很多平面显示器生产企业。企业在生产显示器过程中使用大量钼靶材,车间内一次用8-12块钼靶材,每块市价2万美金左右。用一次就是20万美金,约合150万元人民币,而只能使用三周左右就要重新更换一套,这么大的市场着实让人吃惊。

     2005年以来,钼靶材在第五代平面显示器以及薄膜太阳能电池制造中广泛应用,其市场可达二亿美元一年,但目前由3家外国公司垄断。所有这3家公司都曾经从中国购买原料,只因国内不了解其制造工艺和质量要求,无法将原料优势转化为具有国际竞争力的产品。范嘉苏自信地说:“我掌握的技术和理念可以填补这个空白,我在这行业摸爬滚打了近20年,而且中国拥有有原料和生产成本的优势。2009年6、7月份苏晶将上两条流水线生产2700mmX200mmX16mm的大型钼靶和其他靶材,预计产品售价将比国外同类产品便宜15%。金融危机下,许多大企业从降低成本角度考虑,重新安排采购计划,我的产品在价格和质量上将更具竞争力,我就是要把中国制造的靶材打进国际市场,目前公司已获2家企业6种产品的订单,以及数家世界大厂的询价。”

     在采访中,范博士一再表示,没有新北区政府,特别是区领导的大力支持,苏晶是走不到今天的。在当地政府培育和本地企业常州灵通公司、本地投资机构的支持下,范嘉苏计划两三年后,经过融资扩产,力争实现年产值2亿元。随后,苏晶将开拓集成电路(IC),大型平面显示器和太阳能面板制造中大量使用的其它溅射靶材的制造。这样,范嘉苏领导的苏晶就能成为一个名符其实的世界级电子材料基地。

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